MEMS質量式流量計/氣體流量計
Model：MF5000
．測量介質：空氣、二氧化碳、氮氣、氧氣、笑氣、氬氣...其他氣體請洽詢
．採用MEMS晶片及專利封裝技術，使體積最小化，並提升流量計靈敏度
．結合微電腦技術，使重複性更好，測量更準確
．輸出信號：4~20mA、RS485、脈衝
．LCD顯示螢幕，可顯示瞬時流量/累積流量
．具抗干擾的電磁相容設計
．可應用於半導體氣敏過程監測、醫院氧氣監測...等
．可選Ex認證機型 (無輸出功能)
MF5000 Series是一款專為小管道流量監控而設計的質量式流量計， 該系列可支援管徑小至 3 mm 但不超過 19 mm 的管道氣體流量，專利MEMS傳感製造技術，高精度，低壓損， 裝置可於 -20 至 ±60 ℃和壓力高達 1.5 MPa 的環境下工作，提提供4-20mA、RS485與Pulse輸出，可搭配後端延伸用，另有符合Ex d IIC T4認證等級的款型可選，適用於半導體氣敏過程監測、醫院氧氣監測...等。
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