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質量流量控制器（MFC）

Model：SLC-2000
．採用專有的MEMS Thermal-D操作
．量程比值大於100:1
．各種標準通訊選項可供選擇
．測量範圍:50/100/200/500/1000 mL/min、2/5/10/20/50/100/200 Ln/min
．精度:±1.5%(20~100%滿量程)、±0.3%FS(<20%滿量程)

SLC-2000系列質量流量控制器，採用專有的MEMS Thermal-D操作，TM熱量傳感技術與智能控制電子設備，獨特的質量流量傳感技術，消除了擴散率相似氣體的敏感性，並能進行氣體識別。本產品可用於動態範圍為100:1的製程控制，其控制範圍為0.1至1MPa（15至150 PSI）的壓力和0至50℃的補償溫度。該產品的設計便於更換機械連接器，標準連接器為NPT1/8'至1/2'，其他定制連接可根據要求客製提供。

量程

50/100/200/500/1000 mL/min,2/5/10/20/50/100/200Ln/min

精度

±1.5%(20~100%滿量程)、±0.3%FS(<20%滿量程)

重覆性

0.5%FS (20~100%滿量程)、0.1%FS(<20%滿量程)

零點漂移

0.05%FS

工作範圍/量程比

100:1

最大可控流量

120%FS

控制壓力範圍

0.1-0.8MPa

最大工作壓差

0.4MPa

輸出

4-20mA; 0-5.0Vdc

最大零點漂移

30mVd

響應時間

100ms

預熱時間

70ms

工作溫度

0~50°C

滿量程壓損(@100SLPM)

80kPa

輸出信號

RS485 Modbus

標準狀態

空氣(0°C,101.325kPa)

符合性

ROHS,REACH,EN6100-2:-3:-4